普赛斯SPA6100半导体参数分析仪

普赛斯SPA6100半导体参数分析仪

SPA6100半导体参数分析仪具有高精度、宽测量范围、 快速灵活、兼容性强等优势，产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试。

        基于模块化的结构设计,可以帮助用户根据测试需要,灵活选配测量单元进行升级。产品支持最高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量,同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。

        搭载专用半导体参数测试软件,支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作,能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程，实现高效和可重复的器件表征；也可与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求。

产品特点

●    30μV-1200V，1pA-100A 宽量程测试能力

●     测量精度高，全量程下可达0.03%

●     内置标准器件测试程序，直接调用测试简便 

●     自动实时参数提取、 数据绘图、分析函数

●     在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线

●     提供灵活的夹具定制方案，兼容性强

●     免费提供上位机软件及SCPI指令集

图形化软件界面

配合普赛斯自主开发的专业测试软件，SPA6100可轻松实现半导体材料，器件的参数测试。系统内置常用器件模板，如二极管， 三极管，MOSFET。测试过程中，可直接调用，只需简单设置测试参数即可。软件支持测试数据显示，以及曲线绘制。测试完毕 后，可将数据以及曲线导出保存。

灵活可定制化的夹具方案

针对市面上不同封装类型的半导体器件产品，普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点，可 用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管，模组类产品的测试；也可与探针台连接，实现晶圆级芯片 测试。

不同封装类型的夹具

普赛斯SPA6100半导体参数分析仪产品选型

低压直流I-V源测量单元

低压脉冲I-V源测量单元

高压I-V源测量单元

高流I-V源测量单元

电容测量单元